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Compact integrated optical devices for optical sensor and switching applications

机译:适用于光学传感器和开关应用的紧凑型集成光学设备

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摘要

This thesis describes the design, fabrication, and characterization of compact optical devices for sensing and switching applications. Our focus has been to realize the devices using CMOS-compatible fabrication processes. Particularly the silicon photonics fabrication platform, ePIXfab, has been used for this purpose.
机译:本文描述了用于传感和开关应用的紧凑型光学设备的设计,制造和特性。我们的重点一直是使用兼容CMOS的制造工艺来实现器件。特别是,硅光子制造平台ePIXfab已用于此目的。

著录项

  • 作者

    Kauppinen, L.J.;

  • 作者单位
  • 年度 2010
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 und
  • 中图分类

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